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電子級四氟化碳
質(zhì)量標準:
分子式：CF4 分子量：88
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項目
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含量 |
單位 |
|
CF4 |
≥99.999 |
%V |
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O2+Ar |
≤1 |
ppmv |
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N2 |
≤4 |
ppmv |
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CO2 |
≤1 |
ppmv |
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CO |
≤1 |
ppmv |
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SF6 |
≤1 |
ppmv |
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Other Halocarbons |
≤1 |
ppmv |
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H2O |
≤1 |
ppmv |
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Acidity(HF) |
≤0.1 |
ppmw |
性狀：
四氟化碳為永久氣體，在常溫常壓下為無(wú)色無(wú)臭的氣體?？諝庵胁蝗紵?，是比較穩定的無(wú)毒物質(zhì)。
用途：
四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，可廣泛應用于電子器件表面清洗，印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。
貯存：
陰涼通風(fēng)、遠離熱源、倉溫不宜超過(guò)30℃，空瓶、滿(mǎn)瓶應分開(kāi)存放。
運輸：
四氟化碳的運輸應符合《氣瓶安全監察規程》的相關(guān)規定。
包裝:
應充裝在經(jīng)特殊處理的潔凈、干燥的無(wú)縫高壓氣瓶中，氣瓶容積一般為40L、12.5L、10L、8L、4L等，也可根據用戶(hù)需要選用各種容積的氣瓶或其它容器。
福建省邵武市永飛化工有限公司
地 址：中國福建省邵武市新氨路18 號
國際貿易部 電話(huà)：+86-599-6655932/6654968 傳真：+86-599-6654591
國內貿易部 電話(huà)：+86-599-6654866/6654968 傳真：+86-599-6655755
高純化學(xué)品部 電話(huà)：+86-599-6655536/6654968 傳真：+86-599-6655755
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